在過(guò)去的幾年中,實(shí)踐證明,數碼顯微鏡在微電子行業(yè),尤其對印刷電路板 (PCB) 的檢測、質(zhì)量控制和保證 (QC/QA) 以及失效分析 (FA) 等工作大有裨益。近,隨著(zhù)技術(shù)的發(fā)展,數碼顯微鏡在檢測過(guò)程中,愈發(fā)顯現其強大功能和*實(shí)用性,進(jìn)一步提高了工作效率。本文闡述了一些數碼顯微鏡功能的優(yōu)勢,例如,用于操作和分析的直觀(guān)軟件,快速、簡(jiǎn)便的放大倍率切換方式,以及可靠調用參數的編碼功能。
將印刷電路板 (PCB) 當作樣品。
Leica DVM6 記錄的局部 PCB 樣品低放大倍率圖像。
顯示集成電路芯片和焊點(diǎn)的局部 PCB 三維圖像;利用 Leica DVM6 通過(guò) LAS X EDOF(擴展景深)功能捕捉。亦可參見(jiàn)右側帶彩色 Z 標尺的相同圖像。
與左側帶彩色 Z 標尺相同的三維圖像。
Leica DVM6 數碼顯微鏡令用戶(hù)能夠更簡(jiǎn)單、更快速地記錄高品質(zhì)的可靠圖像數據,實(shí)現快速分析,提高了微電子部件檢測等方面工作的效率。本報告探討了 Leica DVM6 的下述功能是如何實(shí)現更快速、更可靠的工作流程的:
用于顯微鏡操作和數據分析的直觀(guān)軟件;
高效、快速實(shí)現整個(gè)范圍內(12:1 至 2350:1)的放大倍率切換;
針對重要參數的編碼功能(自動(dòng)追蹤和存儲),例如,載物臺、光學(xué)器件、照明、相機設置等,以便隨時(shí)快速調用;
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